微特云辦公系統(tǒng)
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2021-12-25
MEMS設(shè)計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結(jié)構(gòu)的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
2021-12-11
mems傳感器要處于最佳工作狀態(tài)，需要通過各種軟件對測量過程進行管理和調(diào)節(jié)，并對數(shù)據(jù)進行各種處理，進而增加傳感器功能，提高其性能指標(biāo)。高質(zhì)...
2021-12-03
聚焦離子束（FIB）技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割...
2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優(yōu)勢，...
2021-11-18
MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設(shè)備。加速度計目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線加速度計。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱之為MEMS工藝制造，其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來，以光刻，鍍...
