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2022-04-12
mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而...
2022-04-01
微納加工技術(shù)是當(dāng)今時(shí)代最重要的技術(shù)之一，歷史雖然不長，但發(fā)展迅速。從實(shí)際應(yīng)用來看，主要可分為兩大類，硅基微機(jī)械加工技術(shù)和非硅基微機(jī)械加工技術(shù)...
2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機(jī)電系統(tǒng)。 mems傳感器就是利用mems技術(shù)制造的傳感器。mems加工通常是由...
2022-03-02
MEMS代工之表面微機(jī)械加工是以硅片為基體，通過膜淀積和圖形加工制備三維微機(jī)械結(jié)構(gòu)。硅片本身不被加工，器件的結(jié)構(gòu)部分...
2022-01-12
CMOS被稱為互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。 MEMS中文名微電子機(jī)械系統(tǒng)，是具備獨(dú)立功能的智能系統(tǒng)...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
