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mems設計之硅壓阻式壓力傳感器設計
2022-04-12

　　mems設計之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而...
微納加工三個主流技術
2022-04-01

微納加工技術是當今時代最重要的技術之一，歷史雖然不長，但發(fā)展迅速。從實際應用來看，主要可分為兩大類，硅基微機械加工技術和非硅基微機械加工技術...
MEMS器件最常用的加工方法
2022-03-26

MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
mems傳感器的加工尺寸
2022-03-15

　　mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機電系統(tǒng)。　　mems傳感器就是利用mems技術制造的傳感器。mems加工通常是由...
mems代工之表面微機械加工
2022-03-02

MEMS代工之表面微機械加工是以硅片為基體，通過膜淀積和圖形加工制備三維微機械結構。硅片本身不被加工，器件的結構部分...
cmos設計和mems設計的區(qū)別
2022-01-12

　　CMOS被稱為互補金屬氧化物半導體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。　　MEMS中文名微電子機械系統(tǒng)，是具備獨立功能的智能系統(tǒng)...

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